SF6氣體不溶于水和變壓器油，在熾熱的溫度下，它與氧氣、氬氣、鋁及其他許多物質不發生作用。但在電弧和電暈的作用下，SF6氣體會分解，產生低氟化合物，這些化合物會引起絕緣材料的損壞，且這些低氟化合物是劇毒氣體。SF6的分解反應與水分有很大關系，因此要有去潮措施。